压阻式压力传感器

1.高灵敏度：硅应变电阻的灵敏度因子比金属应变计高50-100倍。

因此，相应传感器的灵敏度非常高。

通常，满量程输出约为100mv。

因此，对接口电路没有特殊要求，应用成本相对较低。

因为它是一种非机械结构传感器，分辨率非常高，据说在国外是无限的。

它主要受外部检测和读取仪器限制和噪声干扰限制的限制。

通常，它可以达到传感器满量程的100,000。

一个或少或少。

硅压阻式传感器在零点附近的低范围内没有死区，并且具有出色的线性度。

2.高精度：由于固态压阻式压力传感器的感觉，敏感转换和检测的三个部分由同一个元件实现，没有中间转换链路，因此不重复和滞后误差是非常小。

同时，由于硅单晶本身具有大的刚性和小的变形，因此确保了良好的线性，因此综合静态精度高。

3.体积小，重量轻，动态频率响应高：由于磁芯集成工艺，无传动部件，体积小，重量轻。

小尺寸芯片加上硅的极高弹性模量，敏感元件的固有频率非常高。

在动态应用中，动态精度高，使用频率带宽，并且可以合理地选择传感器形状。

带宽可以在0到100 kHz之间使用。

4.性能稳定，可靠性高：由于工件弹性变形小，弹性薄膜的最大位移大约为亚微米级，因此无磨损，无疲劳，不老化。

寿命长达107个压力循环。

5.温度系数小：由于微电子技术的进步，四个应变电阻的一致性可以很高。

此外，改进了激光微调技术和计算机自动补偿技术，硅压阻式传感器的零位和灵敏度温度。

系数达到10-5 /°C的数量级，这是超过压力传感器领域温度系数的应变传感器的水平。

6.适用于各种介质：由于硅具有优异的耐化学腐蚀性和与硅油的良好相容性，即使非隔离压阻式压力传感器具有相当程度的适应性，隔离结构也易于实现各种媒体。

7.安全防爆：由于其低电压，低电流和低功耗特性，是一种本质安全的防爆产品，可广泛应用于各种化工行业的检测和控制领域，并具有最佳的成本性能。

压阻式压力传感器的原理是，敏感磁芯在被按压后受到电阻的变化，然后电阻的变化通过放大电路转换成标准信号输出。

目前，压阻式磁芯有三种类型：1。

应变原理：1）结构：压敏电阻与惠斯通电桥形式的应变材料（通常为不锈钢）相结合。

2）特点：过载能力强，抗冲击性低，灵敏度低，适用于500kpa或更高的测量范围，高达500Mpa，高强度，抗振动，不易损坏温度漂移，小范围高（1Mpa以上），良好线性度，精度高刚性膜片结构，用于测量与应变材料兼容的各种介质。

2，陶瓷压阻原理：1）结构：压敏电阻与惠斯通电桥形式的陶瓷一起烧结。

2）特点：过载能力低于应变原理，冲击压力差。

灵敏度很高。

它适用于测量50kpa以上的高范围。

最高范围为40Mpa，温度范围宽。

3.扩散硅和硅的原理：1）结构：在硅晶片上注入颗粒，形成惠斯登电桥形式的压敏电阻。

2）特点：灵敏度高，精度高，适用于1kpa~40Mpa的测量范围，过压能力强，抗冲击性能好，温度漂移大，隔离膜隔离膜大，非隔离膜，非隔离膜该薄膜只能测量清洁气体，隔离膜片是柔软的隔膜，不适合测量粘性介质。

压阻式压力传感器可广泛应用于工业设备，水利，化工，医疗，电力，空调，金刚石压力机，冶金，车辆制动，建筑给水等的压力测量和控制。