电子光谱仪
当具有足够能量的入射电子使原子内层电离时，该孔立即通过L1→K跃迁被另一个电子填充。该过渡的过剩能量EK-EL1引起L2电平的电子跃迁，电子从该电子发射为俄歇电子。
该俄歇电子的能量约等于EK-EL1-EL2。这个传输过程称为KL1L2过渡。
此外，还会有类似的KL1L1，LM1M2，MN1N1等。从上述过程可以看出，至少两个能级和三个电子参与俄歇过程，因此氢原子和锗原子不能产生俄歇电子。
相同的孤立锂原子不能产生俄歇电子，因为最外层只有一个电子。然而，在固体中，价电子是共享的，因此在各种含锂化合物中也可以看到由锂产生的俄歇电子。
电子光谱仪的优点：（1）分析快速能谱仪可以同时接收和检测不同能量的所有X射线光子信号，因此可以在几分钟内分析和确定样品中包含的所有元素，并带有一个窗口。探测器可以探测从11Na到92U的元素。
20世纪80年代推向市场的新窗口材料使光谱仪能够分析Be上方的光元素。检测元件的范围是4Be~92U。
（2）高灵敏度X射线收集大的立体角。由于光谱仪中的Si（Li）探针可以非常靠近发射源（约10M）放置，没有晶体衍射几乎没有信号强度损失，因此灵敏度很高（高达104 cps / nA，事件电子束单元）。
由强度产生的X射线计数率）。此外，光谱仪可以在低入射光束电流（10-11A）下工作，这有助于提高分析的空间分辨率。
（3）谱线重复性好。由于光谱仪没有移动部件，稳定性好，无需聚焦要求，因此线的峰值位置是可重复的，并且没有散焦问题，适用于粗糙表面的分析。
电子光谱仪的缺点：（1）能量分辨率低，峰背比低。由于光谱仪的探头直接面向样品，因此也可以同时检测由反向散射电子或X射线产生的荧光X射线信号，从而提高由Si（Li）检测器检测的特征线的强度。
同时，背部的背景也相应地增加，并且光谱线的重叠是严重的。因此，仪器区分不同能量特征的X射线的能力恶化。
光谱仪的能量分辨率（130eV）低于光谱仪的能量分辨率（5eV）。 （2）工作条件严格。
Si（Li）探针必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使它不工作，否则晶体中Li的浓度分布会因扩散而改变，导致探针功能降低或甚至彻底毁灭了。 1.高精度表面化学表征：单色XPS快速准确地识别表面元素组成，化学状态和微观特征分析;结合独特的自动中和技术，可对各种绝缘样品进行快速XPS分析2.高分辨率XPS深度分析：小光束点XPS与新型离子枪配合使用，逐层测量表面层和化合物沿深度的分布表面升降法（离子蚀刻）。
3.高灵敏度XPS化学状态成像：多达128个检测器快照，获取每个扫描点的元素组成和化学状态信息，从而获得样品表面的高灵敏度化学图像，如浓度空间分布图和膜厚图。 4，能量分辨率限制能量分辨率＆lt; lt; 0.5 eV（电子伏特）FWHM分析区域连续可调，范围为30-400微米。
电子光谱仪对固体进行化学结构测定，元素分析和化合价分析。它可以分析固体，液体和气体样品中除固体外的所有元素。
它还可以研究原子的状态，原子周围的条件和分子结构。可应用于催化，聚合物，腐蚀冶金，半导体材料等部门。
